瑞士VAT真空閘板閥在中國(guó)的合作供貨商

VAT是一家在真空閥門領(lǐng)域處于絕對(duì)位置的瑞士公司，VAT自1964年成立以來(lái)，在真空閥門技術(shù)領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)了專業(yè)化的運(yùn)作。因其強(qiáng)大的研發(fā)創(chuàng)新和業(yè)界聞名的高品質(zhì)，世界各半導(dǎo)體芯片設(shè)備、太陽(yáng)能設(shè)備制造廠商、大學(xué)和科研機(jī)構(gòu)大量采用了VAT公司的產(chǎn)品，其生產(chǎn)的閥門在真空產(chǎn)生和研究系統(tǒng)中都是業(yè)界的標(biāo)準(zhǔn)組件。

VAT閥門主要運(yùn)用在：半導(dǎo)體加工，玻璃或鍍膜設(shè)備，高能物理（科研），同步加速器（科研），激光技術(shù)，空間模擬，冶金，表面分析等行業(yè)。產(chǎn)品包括：插板閥、蝶閥、傳送閥、隔膜閥、角閥等，是高靈敏度和高可靠性的控制真空閥。

產(chǎn)品服務(wù)：

瑞士VAT閥門、閘閥、鐘擺閥、控制閥、角閥、隔膜閥、連接部件、多閥門模塊、加熱器、鍍膜

品牌介紹：

VAT真空閥門公司是一家活躍于市場(chǎng)的瑞士公司，是真空閥門開(kāi)發(fā)、制造和銷售的公司。產(chǎn)品廣泛用于半導(dǎo)體、鍍膜行業(yè)和研發(fā)、平板顯示器制造，玻璃和工具鍍膜，冶金，表面分析，高能物理學(xué)，同步加速器，激光技術(shù)和太空旅行模擬等領(lǐng)域。

主要型號(hào)：

010系列、012系列、081系列、091系列、108系列、110系列、121系列、140系列、150系列、152系列、162系列、168系列、640系列、641系列、650系列、652系列、022系列、032系列、043系列、075系列、076系列、066系列、211系列、214系列、216系列、245系列、264系列、471系列、773系列、790系列、790系列

瑞上VAT部分產(chǎn)品介紹

1.VAT閘閥

具有模塊化執(zhí)行機(jī)構(gòu)概念的VAT緊湊型迷你超高壓閘閥非常適合I業(yè)和研發(fā)應(yīng)用。它通常用于半導(dǎo)體工藝系統(tǒng)的管道中。插入版本

以集成到真空系統(tǒng)中(無(wú)閥體)，更高的密封材料(Chemraz, EPDM等)， 帶有VITON制成的密封件，可更換，特殊的閥門澆口，適

合安裝各種孔板。

2.VAT蝶閥

VAT蝶閥是下游應(yīng)用的蝶形壓力控制閥。帶有非?？焖偾覉?jiān)固的執(zhí)行器，高性能，集成控制器，具備極短的控制響應(yīng)時(shí)間和位置指I

示，自動(dòng)維護(hù)指示，出色的抗污染能力。該閥"的控制器可確保非常快速和準(zhǔn)確的壓力控制。通過(guò)操作L EARN功能，在啟動(dòng)時(shí)只

需要執(zhí)行一次，即可自動(dòng)確定系統(tǒng)參數(shù)。由于采用了自適應(yīng)算法，因此控制器可以連續(xù)適應(yīng)過(guò)程條件(氣體種類，氣體流量)，從而

確保隨時(shí)進(jìn)行最佳壓力控制。

B.VAT轉(zhuǎn)換閥

VAT轉(zhuǎn)換閥用于200.300和450毫米晶圓的半導(dǎo)體生產(chǎn)系統(tǒng)中的負(fù)載鎖定和處理室隔離。雙作用氣動(dòng)執(zhí)行器，主體材質(zhì)為鋁，不銹

鋼，波紋管受保護(hù)，使用壽命長(zhǎng)，大于500萬(wàn)次循環(huán)的預(yù)期壽命，公稱內(nèi)徑32x222到56x496毫米。

4.VAT角閥

VAT角閥適用于大多數(shù)腐蝕性氣體，除氣率極低。當(dāng)排氣速率極低時(shí)，對(duì)于特高壓系統(tǒng)的泵送和排氣很重要。耐高壓差，固定式可

旋轉(zhuǎn)CF法蘭，在最高溫度80°C下可以進(jìn)行300萬(wàn)次循環(huán)，主體材質(zhì)不銹鋼，執(zhí)行器類型分為手動(dòng)執(zhí)行器(手輪)，氣動(dòng)執(zhí)行器(單閉

孔，帶有閉合彈簧NC)。

5.VAT軟啟動(dòng)閥

VAT軟啟動(dòng)閥由兩半節(jié)流閥瓣組成，它們支撐在一條公共軸 上，并通過(guò)彈簧保持在打開(kāi)位置。軸保持在ISO KF對(duì)中環(huán)中，該對(duì)中環(huán)

形成為帶有閥座的主體。將它們安裝在兩個(gè)SO-KF法蘭(而不是定心環(huán)之間時(shí)，必須將打開(kāi)的閥對(duì)準(zhǔn)真空管路中的氣流。當(dāng)粗加

工系統(tǒng)投入運(yùn)行時(shí)，在粗加工管線中會(huì)產(chǎn)生強(qiáng)氣流，該氣流會(huì)立即關(guān)閉閥門，并使管段減少約99%。當(dāng)達(dá)到約2%的壓差時(shí)，在

15mbar時(shí)，閥]打開(kāi)并幾乎毫5阻礙地離開(kāi)管道，以進(jìn)行進(jìn)步泵送。

瑞士VAT真空閘板閥在中國(guó)的合作供貨商